维修范围
五大类半导体真空阀门专业维修，覆盖国际主流品牌
角阀维修图片
角阀（Angle Valve / Isolation Valve）
用于真空腔体与泵之间的隔离控制，维修涵盖密封圈更换、阀板研磨、气缸检修及真空性能恢复测试。
KF25 - DN200 VAT MKS SMC
摆阀维修图片
摆阀（Pendulum Valve / APC Valve）
用于腔体压力精确控制，维修包括阀板密封修复、驱动机构校准、控制器联调及全行程压力响应测试。
DN63 - DN200 VAT MKS HVA
闸板阀维修图片
闸板阀（Gate Valve）
用于大口径真空管路的高真空隔离，维修涉及闸板与密封面精密研磨、波纹管更换、驱动系统检修。
DN63 - DN200 VAT HVA HDP
蝶阀维修图片
蝶阀（Butterfly Valve / Throttle Valve）
用于粗真空/中真空阶段的流量调节与隔离，维修包括蝶板密封更换、轴承润滑修复及步进电机校准。
KF40 - DN200 MKS VAT SMC
门缝阀维修图片
门缝阀（Slit Valve / Transfer Valve）
用于腔体间晶圆传输通道的快速隔离，维修包括密封条更换、升降机构检修、响应时间及密封性测试。
定制规格 VAT Axion HDP
全品牌覆盖
覆盖国际主流品牌
拥有 VAT、MKS、SMC、HVA、HDP、Axion 等品牌阀门的原厂技术资料与配件渠道，确保维修品质对标原厂标准。
VAT MKS SMC HVA HDP Axion